半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理方案
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半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)的過程中，會(huì)產(chǎn)生大量的有機(jī)物以及有毒有害物質(zhì)，特別是VOCs氣體，如直接排放VOCs氣體，對(duì)大氣層將會(huì)造成較為嚴(yán)重的危害，所以今天小編將與大家分享一份關(guān)于：半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理方案。
目前在市場上，工業(yè)廢氣處理主要采用的是焚燒或者是吸附的方法，還有一種少見的熱氧化法，但是由于半導(dǎo)體廢氣中的有機(jī)物會(huì)被氧化掉，所以只有在大流量、低濃度的氣體的情況下使用該方法。
吸附法：
活性炭吸附法是利用活性炭表面上的多孔，去吸附有機(jī)廢氣中的有害物質(zhì)或者是可回收物質(zhì)，其吸附劑選擇性高，而且凈化效率高，活性炭再吸附后需作再生處理。
優(yōu)勢(shì)：活性炭吸附設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作，采用活性炭作為吸附劑，其運(yùn)行成本低，而且對(duì)于廢氣中水蒸氣的靈敏度不高。
焚燒法：
焚燒法的工作原理是將廢氣中的有機(jī)物經(jīng)過熱氧化轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水，一般處理的是濃度和風(fēng)量較為穩(wěn)定的廢氣。
有機(jī)廢氣處理方法一般會(huì)使用直接燃燒法、催化燃燒法、活性炭吸附法、冷凝法等，很多時(shí)候會(huì)采用燃燒法和吸附法相結(jié)合。
對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣這種大風(fēng)量、廢氣成分復(fù)雜而且濃度低的有機(jī)廢氣處理比較適合燃燒法和吸附法相結(jié)合的方法。
